Ruthenium Target

Antioxidační, antikorozní-odolné a stejnoměrně vytvářející-film, poskytující vysoce spolehlivé řešení nanášení tenkých-vrstvy pro polovodiče a aplikace pro ukládání dat.

Rutheniová naprašovací elektroda je naprašovací elektroda platinové skupiny ušlechtilých kovů vyrobená z-ruthenia o vysoké čistotě (Ru) rafinací, tavením, kováním a přesným obráběním. Primárně se používá ve fyzikálních parních depozicích (PVD) magnetronových naprašovacích procesech. Tento produkt se vyznačuje vysokým bodem tání, vysokou tvrdostí, vynikající odolností proti oxidaci a chemickou stabilitou, což umožňuje výrobu stejnoměrných a hustých filmů ruthenia. Rozsáhlé aplikace nachází v pokročilých polovodičových pamětích, propojeních integrovaných obvodů, vrstvách difúzní bariéry a zařízeních pro ukládání a zobrazování dat.

Odeslat dotaz

Popis produktu

Tato řada rutheniových terčů se vyrábí z vysoce čistých rutheniových surovin a dosahuje vysoké hustoty a jednotné mikrostruktury obloukovým tavením a procesy zušlechťování zrn. Produkty jsou dostupné v různých konfiguracích, včetně planárních terčů a rotačních terčů, a podporují služby backplate vázání indium-/Elastic Body-, díky čemuž jsou vhodné pro aplikace DC naprašování.

Funkce

Vysoká čistota, konvenční kvalita, dostupná ve specifikacích ultra{0}}vysoké čistoty.
Vysoká tvrdost, vynikající odolnost proti opotřebení a vynikající odolnost proti oxidaci a korozi.

Příliš vysoký bod tání s vynikající-stabilitou při vysokých teplotách.
Film vykazuje rovnoměrné nanášení a vysokou hustotu, díky čemuž je vhodný pro pokročilé procesy výroby polovodičů.

Specifikace a modely

Pro přizpůsobené rozměry, tloušťku, čistotu nebo technické specifikace nás neváhejte kontaktovat. Můžeme poskytnout materiálová řešení na míru na základě vašeho naprašovacího zařízení, požadavků na povrchovou úpravu a rozměrových specifikací.

Klasifikace Dimenze	Typ produktu	Základní vlastnosti
Stupeň čistoty	Různé stupně čistoty	Univerzální-účel pro polovodiče, displeje a paměťová zařízení.
Formát produktu	Kruhový planární terč z ruthenia	Standardní specifikace, kompatibilní s většinou naprašovacích zařízení.
	Rutheniový terč ve tvaru obdélníku-	Vhodné pro velkoplošné-nátěrové aplikace.
	Rotující rutheniový terč	Vhodné pro velké-plošné, vysoce{1}}účinné nanášení.

Aplikace

Polovodiče: DRAM/MIM kondenzátorové elektrody, propojují vrstvy difúzní bariéry.
Pokročilé úložiště: Magnetické úložiště, Phase{0}}Change Memory, Resistive Memory.
Integrovaný obvod: Měděná propojovací základní vrstva, bariérová vrstva a logické zařízení.
Zobrazovací zařízení: Ploché-panelové displeje, tenkovrstvé elektrody OLED-.
Optoelektronika a fotovoltaika: Optické povlaky, funkční vrstvy fotovoltaických článků.
Precizní elektronika: Elektrické kontakty odolné proti opotřebení{{0}, odpory s tlustou vrstvou-, senzory.

Populární Tagy: ruthenium cíl, Čína ruthenium cíl výrobci, dodavatelé, továrna